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纳米定位台

微纳系统技术是下一代新产品和新技术的基础，其中一个重要的领域是微纳系统装配，其主要面向微米装配、纳米测试和生物研究等应用目前微纳系统的装配迫切需要具有高柔性、能够进行---纳米操作的系统装备定位与驱动设备是纳米操作系统中关键组成之一，目前具有纳米级甚至亚纳米级运动精度，压电扫描台厂家，又具有毫米级运动行程的跨尺度定位技术已成为纳米操作领域驱待解决的关键技术的尺为微级，因此微纳系统的装配必须辅助于高分辨率成像设备。

纳米定位台介绍

纳米定位台是一维x轴压电平移台，它以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台，实现位移行程，压电扫描台，可选择内置---传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。由于工艺的不断成熟和成本的不断下降，陶瓷电机纳米定位台的已经明显优于传统压电纳米台，甚至低于---的微型电---台，在很多应用中已经取代这两种产品。